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A想要和得到要做到

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第419章 光刻

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炉腔内早已升到一千四百多度,

石英坩埚里的硅料熔成亮得刺眼的液态。

张胜寒站在操作台前,左手微调提拉转速,右手控着温场曲线,指尖稳得纹丝不动。

籽晶缓缓下降接触液面的瞬间,她手腕极轻地一顿,随即匀速向上提拉。

时间一分一秒地走,没人觉得熬人。

顾教授攥着拐杖的手越收越紧,指节都泛了白;

付教授微微前倾着身子,眼睛一眨不眨,生怕呼吸重了震歪了晶柱;

陈教授扶着眼镜,眉头微蹙,目光死死黏在那根慢慢变长的银灰色晶柱上。

硅棒一点点从熔液里拔出来,表面泛着温润的金属光泽,通体笔直,连一丝肉眼可见的瑕疵都没有。

随着提拉速度放缓,整根晶柱渐渐成型,稳稳悬在炉腔中央。

“成晶了……” 有人压着嗓子小声念叨,声音轻得像怕惊碎了什么。

又熬了两个多小时,炉温缓缓回落。

张胜寒按下泄压阀,确认真空度归零,才抬手拧开炉盖螺栓。

宁伟和钟跃民戴好隔热手套上前,小心翼翼地把整根硅棒托出来,平放在铺了石棉布的钳工台上。

一米多长的单晶硅棒静静躺着,银亮光洁,晨光落在上面,泛着细腻匀整的金属质感,连表面的生长纹路都规整得像用尺子量过。

陈教授一步挤上前,手里攥着腐蚀液和便携显微镜,指尖都有点发颤。

他切下一小片端头,滴上腐蚀液,放到镜头下反复测了三个点位,越看眼睛越亮,最后猛地直起身,声音都劈了:

“超高品质!绝对是超高品质的单晶硅!”

车间里瞬间一静。

“位错密度不到八百个每平方厘米,纯度至少九个九!”

陈教授喘着气,指着硅棒的声音还在抖,“比东德进口的还好!跟西德顶尖水平的比都不差!”

话音刚落,欢呼声猛地炸了开来。

年轻学生们攥着本子跳起来,有人拍着身边人的肩膀直晃,有人红着眼眶笑,喊得嗓子都哑了。

几个助理互相推搡着往前凑,眼里亮得像盛了光,

连王干事都攥着拳头狠狠挥了一下胳膊,脸上的官腔早就不见了,只剩亢奋。

五位教授站在最前面,反倒没出声。

顾教授拄着拐杖,白胡子微微抖着,盯着那根硅棒半天没说话,眼角慢慢红了。

他搞了一辈子军工,太清楚这东西意味着什么 ,有了高纯硅,雷达芯片不用再看人脸色,导弹制导不用再拆进口旧件凑数,连卡了多少年的微机产业,都有了自己扎下的根。

林教授别过脸,抬手飞快抹了下眼角,再转回来时笑着摇头:

“熬了半辈子…… 总算是熬到了。以前去国外考察,人家连单晶炉车间门都不让咱们靠近,现在咱们自己也能拉出顶尖的硅棒了。”

王教授蹲下身,指尖轻轻碰了碰硅棒表面,跟碰什么稀世珍宝似的,嘴里喃喃:

“值了…… 这把老骨头,能亲眼看见这一天,值了。”

没人歇斯底里地呐喊,可那股压了几十年的劲儿,全顺着泛红的眼眶、发颤的声音涌了出来。

他们这辈人见多了 “洋人有、我们没有” 的窘迫,受够了禁运卡脖子的窝囊气。

这一根小小的硅棒,托着的不只是半导体的未来,是整个工业体系往上走的底气,是盼了一辈子的强国梦。

钟跃民靠在料架上,看着满屋子又笑又红眼睛的人,捅了捅身边的宁伟,声音也放轻了:“瞧见没?这才叫真本事。

一根硅棒,把这帮老爷子半辈子的心愿都圆了。”

宁伟目光落在操作台边的张胜寒身上。

她正低头收拾操作记录,神色依旧淡淡的,仿佛只是完成了一次寻常的配料熔炼。

可看着不远处那群亢奋得红了眼的人,她的嘴角极轻地勾了一下,快得像晨光里一晃而过的亮影。

顾教授深吸一口气稳住情绪,拐杖重重往地上一跺,嗓门亮得震得房顶都发颤:

“好!好啊!有了这东西,咱们再也不用看洋人的脸色了!今天都别走,我请客,前门烤鸭,管够!”

众人哄地一声笑开,笑声裹着泪光,在清晨的车间里撞出回响。

没人说什么豪言壮语,可每个人心里都亮堂得很,从这根硅棒落地的这天起,有些困住咱们几十年的坎,彻底迈过去了。

往后的路,只会越走越宽。

正午的阳光斜斜钻进高窗,车间里飘着烤鸭的油香和炒肝的蒜香,混着淡淡的硅料金属气,说不出的热闹。

角落拼了两张旧八仙桌,张胜寒坐在条凳上,面前摆着两纸包烤鸭、一碗冒热气的炒肝,是顾教授特意让馆子送过来的,说开炉大吉必须吃点好的。

她吃得慢,动作利落,卷饼、蘸酱、咬下去,全程没什么多余动静。

唐豆在旁边把散了半桌的图纸按 “单晶炉”“五轴机床”“特种钢工艺” 分了三大摞,用铅笔在页脚工工整整标上序号,嘴里还小声念叨着:“这堆是设备总图,这堆是工艺卡…… 可不能弄混了。”

另一边的单晶炉旁却围得水泄不通。

钟跃民和宁伟裹着厚帆布围裙,戴着粗隔热手套,一个控提拉机构,一个盯温场仪表,正照着张胜寒写的操作卡试着拉第二炉。

五位教授带着七八个助理学生,围成半圈扒着防护栏看,连大气都不敢喘,跟看什么国宝出窑似的。

“哎排长,我可先说好了啊!”

钟跃民手搭在旋钮上,头也不回地喊,“我这手要是抖一下,整炉硅料废了,您可别怪我啊!我以前也就车过炮弹,没玩过这么金贵的玩意儿!”

他嘴上喊着慌,手上旋钮拧得却稳,半分不差。

宁伟盯着温控表,眉头微蹙,低声碰了碰他胳膊:“跃民哥,别说话了,上温区要飘了。”

“我就是顺嘴一说嘛。” 钟跃民嘿嘿笑,手上没停,嘴里还贫,

“你看咱们排长,在那边啃烤鸭喝炒肝,让咱们俩在这儿守着炉子烤火,她就不想干活,在压榨咱们。”

“跃民哥,别说话了。” 宁伟语气又沉了半分,一本正经,“这是排长给我们的机会。”

他说得格外认真,倒把钟跃民噎了一下,撇撇嘴没再贫。

旁边围观的半导体所小助理忍不住了,探着脑袋小声喊:“钟班长,您能不能专心点啊!我们都盯着呢,这一炉料可贵了!”

周围几个学生憋着笑,肩膀一抽一抽的,又不敢出声打扰,憋得脸都红了。

顾教授捋着白胡子站在最前面,看得直乐,拐杖头轻轻点着地面:

“这小子嘴真贫,手倒是稳。”

“稳是稳,就是话太多。” 陈教授扶着眼镜,眼睛一眨不眨盯着观察窗,“不过头一次上手能有这准头,已经很了不得了。”

张胜寒咬了半口卷饼,抬眼往炉边扫了一下,声音不大,却清清楚楚飘了过去:

“转速提两转,上温区降五度。再贫,这炉废了你俩赔。”

“得嘞!听您的!”

钟跃民立刻收了笑,指尖微调旋钮,动作干脆利落,半点不含糊。

宁伟同步调着温控仪,俩人配合得严丝合缝,跟练过几十遍似的。

又熬了一个多钟头,炉温回落,炉盖缓缓升起。

钟跃民和宁伟戴厚手套上前,小心翼翼把硅棒托出来放在石棉布上。

一米来长的硅棒泛着银亮的光,虽不如张胜寒那根细腻匀整,表面纹路稍显粗糙,却通体没有明显裂纹和缺陷,看着就成色不差。

陈教授第一个凑上去,拿仪器测了端头,抬头时眼睛都笑眯了:

“合格!绝对合格!位错密度虽然比不了小寒那炉,但也远超咱们现役水平了!头一次上手能拉出这样,天才都没这么快!”

周围瞬间响起一阵低低的欢呼。

学生们凑上前看,眼里全是羡慕;

几位教授互相看看,都从对方眼里看到了湿润。

“好啊,好啊。” 林教授叹着气笑,眼角有点发湿,

“以前咱们连见都见不着的技术,现在不仅有了,还能手把手教给年轻人。等这批孩子都练出来,咱们的半导体产业,就真的立住了。”

“可不是嘛。” 朱教授点头,

“以前总说洋人卡脖子,现在咱们自己有工艺、有设备、还有传人,早晚能追上,早晚能超过去!”

顾教授拐杖一跺,嗓门洪亮:

“说得对!等这批硅料切完,咱们就开工做芯片!先把机床的数控系统搞出来,再往军工、航天上推!我就不信,咱们中国人自己搞不出来!”

钟跃民摘了手套,搓着手一溜烟跑到桌子边,伸手就去拿鸭皮:

“排长排长,我这也算顺利出师了吧?得赏我两块最脆的鸭皮!”

宁伟跟在后面,有点不好意思地站着,耳朵尖微微发红。

张胜寒没说话,拿起薄饼卷了两块鸭皮,递给他俩,一人一个。

唐豆赶紧递过两双筷子,笑着说:“跃民哥,宁伟哥,快吃吧,还热着呢!”

阳光落在银亮的硅棒上,也落在满桌冒着热气的吃食上。

年轻人笑着闹着,老人们眼里带着光,没人喊什么口号,可每个人心里都亮堂堂的。

路就在脚下,一步一步往前走,总有一天能站到最前头。

车间西北角用厚塑料布隔出了个半人高的小隔间,顶上挂着两盏紫外消毒灯,

侧边架了台蒙着过滤棉的鼓风机,呼呼往里吹着风 ,是陈教授带着学生连夜搭的土法无尘间,条件简陋得很,却已经是能凑出来的最高配置了。

前几天张胜寒没急着动芯片,带着唐豆和宁伟把硅片重新做了双面超精抛光,又把光刻胶过滤提纯了三遍,连腐蚀液的浓度、温度都反复校准了十几次,硬生生把现有材料的潜力榨到了极致。

等所有前置工序都妥帖了,才终于开了光刻的工。

隔间外围了一圈人,五位教授挤在最前头,后面踮脚站着学生和助理,连负责安保的王班长都扒着柱子往里瞅。

没人说话,连咳嗽都捂着嘴憋住,生怕呼出来的灰尘飘进去毁了整片硅片。

钟跃民本来还想贫两句,刚张嘴就被顾教授一眼瞪回去,只能靠在料架上百无聊赖地转扳手,安分得出奇。

隔间里,张胜寒换了件干净衬衫,戴着薄橡胶手套,正低头给硅片匀胶。

宁伟站在她左手边,手里端着盛光刻胶的玻璃培养皿,胳膊纹丝不动,连手腕都没晃一下;

唐豆蹲在右边,膝盖上摊着记满参数的小本子,眼睛瞪得溜圆,呼吸都放得比平时轻一半。

涂胶、前烘、对准掩模版、紫外曝光,每一步都慢而稳。

张胜寒的手准得像装了标尺,掩模版落在硅片上的瞬间,半分偏差都没有。

紫外灯亮起的几十秒里,隔间里静得只剩鼓风机的呼呼声,外面一圈人也跟着屏住了气,跟等着开奖似的。

显影液缓缓浇下去的那一刻,细密银亮的电路纹路一点点从胶层里浮现出来。

唐豆盯着硅片嘴慢慢张大,差点喊出声,赶紧用手死死捂住嘴,肩膀一抽一抽的。

等后烘完成,张胜寒拿起硅片对着灯光扫了两眼,眉头微不可察地蹙了一下。

她这一皱眉,外面众人的心瞬间提到了嗓子眼。顾教授赶紧压着嗓子问:“怎么了小寒?没成?”

“成了。” 张胜寒把硅片轻轻放在石棉架上,语气平淡,“就是材料还是不行,光刻胶分辨率上不去,线宽压不下来,芯片做得有点大了。”

这话落地,外面先是死静两秒,随即炸开了锅。

陈教授第一个忍不住,小心翼翼掀开塑料布角凑进去,捏起硅片对着光反复看,越看手越抖,抬头时眼镜都滑到了下巴尖:

“大?这还叫大?!这集成度比咱们所里正在研发的控制芯片高两倍都不止!咱们现役军品上用的,比这大一圈还没这么多功能!”

“可不是嘛!” 王教授也跟着凑上前,指尖指着上面细密的纹路直颤,“这都快赶上进口的八位机主芯片了!你还嫌大?”

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