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第113章 必须对光刻机的系统进行改造

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郭一略一沉思,便知道安城在担心什么,他也是笑了笑,然后说道:

“这种制程工艺的提升并不具备通用性,这种改造的原理很简单,我也只是在光刻十步法的基础上进行的微调。

光刻十步法,这并不是什么新鲜的东西,其中的流程大家都知道,这是基础原理。

如果用在同类型的光刻机,也就是魔都微电子的90nm这款光刻机上,我的改造方案是有参考价值的。但换一种光刻机的话,那就完全不适用了。”

郭一想了想,就接着说道:“问题不大,不用做什么特别的限制。而且,这真的不是什么先进的东西。”

设计和改造,那都是一对一的,同样的光刻机参照郭一之前的改造方案,制造14nm芯片是有可能的。

但要升级7nm,那就必须郭一亲自到场,对所有可能影响制造的东西都进行精密细致的推演才行。

其他光刻机,这个设计方案的只有理论参考价值,而且非常小,重要的是方案的重新设计。

而重新设计的这个过程,那可是郭一通过极致推演得来的,别人想学也学不到的啊。

至于理论,那就更没什么保密的了。郭一运用的也都是基础原理,只不过是通过推演把细节做到极致了而已。

“而且,我相信没人愿意走的。”郭一自信的笑容,让林欣很是着迷。

“我这里不仅有制造7nm的技术,以后还会有更高级更高级的技术,甚至光刻这种东西,以后都会渐渐的沦为低端货。

只有待在这里,才能接触到更高端更先进的技术和理念,一旦离开,那就意味着落伍。”

郭一接着说道:“以后,有我所在的地方那只有挤破头往里进的的。想往外跑的肯定都是目光短浅的人,这样的人走就走吧,目光短浅的人我们也不稀罕。”

看着郭一自信的样子,安城也是笑了,这理念、这思维一般人还真是比不了。

不过,郭一确实有这样的实力,这一点,安城丝毫不怀疑,郭一这几个月的表现安城可都看在眼里呢。

“那好。”安城也是说道:“就按你说的做。公司这就要到了,接下来怎么安排?召集工程师们一起见个面吗?”

“不,不用召集他们,让他们该做什么做什么,我们直接去A1厂。”

郭一来的目的很明确,那就是现场观摩生产,现场推演生产的各个流程,看哪个方面还有能够改进的地方,至于见人,暂时没有必要。

“那好。”

安城也是颇为感慨,两个月前,自己过来的时候,想要领导这些高级工程师们,还必须要施一些手段,给一些利益。

哪像郭一,这人还都没到,这些高工就已经心悦诚服了。

“这也许就是知识的力量吧?”安城内心也是疯狂的这样感慨着。

……

“常工,郭工直接A1厂了。”

严格来说,郭一现在是拜仁的最大股东,不过他不管事儿,在未来也想过要管事儿,这次来的也很低调。

穿了一身防静电工衣和其他防护装备之后,直接就在安城的带领下出现在了A1厂。第一天,他的主要任务就是熟悉整个流程。

“啊?没有来办公区?直接去了工厂?是要做什么?”

常凯也有些懵,难道不应该先开个会,跟大家见个面聊一聊吗?怎么这么直接的?

他根本不知道,无论任何时候,郭一都不是喜欢开会的一个人。

即便非开不可的会,他也喜欢开小会开短会,上来就说重点问题,说完就各干各的去,从不玩儿毫无意义的长篇大论那一套。

“看来,这是一个实干家啊!”常凯最后感慨道:

“不会这就直接上手为再次改进生产工艺进而生产7nm芯片去做论证了吧?”

这,还真让常凯说准了,郭一的目的就是这个,否则他连吴州都不会来,有这时间,直接待在中州睡大觉不香吗?这些天他忙得睡觉的时间比起一年前减少了至少三分之二。

实地来到工厂,跟看工程师们给的生产流程详细资料,那是完全不同的感觉。

这一切都在眼中,郭一只要一愣神,那就是一番极致的推演。

现代的制造工厂,即便是最高端的芯片制造工厂,那也不可能完美无瑕,这世界上就不存在完美无瑕的东西。

郭一这一推演,这些瑕疵根本就无所遁形,直接展现在眼前。

其中一些瑕疵无关紧要,改进成本较高,对整个生产工艺的影响也不是很大,郭一直接就略过了。

他要找的就是那些关键性的控制节点,比如这个——掩膜版与晶圆的对准工艺。

掩膜版与晶圆的对准至关重要,它将直接限制芯片的集成密度和电路的性能。

A1工厂现在正在使用的这款步进扫描投影光刻机,采用的是四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术,以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术。

这种步进扫描投影光刻机在对准的过程中,晶圆片并不直接对准掩膜,而是圆片和掩膜经过各自的光路,对准于曝光系统的光学链上。

而这两个过程的精准匹配非常重要,些微的系统误差对芯片的性能就会产生影响。

郭一也是一遍又一遍的重复着现在的这个过程的推演,他不是没找到问题,但找到这个误差容易,但要消除它,那也确实没那么简单,需要极为精密的调整。

当大量光穿过掩膜时,不可避免的会造成掩膜材料的发热,发热膨胀,这是一个无法避免的事情。

即便是掩膜版采用了热膨胀系数极低的材料,在0.71度的温度变化下也会产生0.1微米的膨胀。

可不要小看这0.1微米,就是它造成的掩膜版和晶圆片的对准精度误差,从而影响了之后的曝光精度和制程工艺。

“热膨胀无法避免,这个系统内几乎所有原件都受到热膨胀的影响。”

郭一这样思索着:“而这里边一定有某种联系,也绝对存在某种恰好的选择,使得这些热膨胀之间通过各自的相互作用,最后达到一种完美的效果。”

郭一这样想着,脑子里渐渐有了一个解决方案。

光刻机是精密的,但在郭一眼里,它再精密能精密的过人类的大脑吗?

大脑接收信息的规律都被总结出来了,光刻机所使用的这些关键材料才多少?

总结出一个把各种材料的热膨胀影响相互抵消的方案,那根本就没有多大的难度。

相比于之前的总结大脑视觉信号规律,这个甚至要简单的多了。

“不过,这就涉及到另外一个问题,那就是光刻机的控制系统了。”

郭一闭上眼,点了点头,确认现在光刻机的控制系统是不适用自己的改造方案的。

“必须对光刻机的系统进行改造。”郭一心里有了决定。

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